Die Gasanalysesysteme Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 von Pfeiffer Vacuum basieren auf dem Massenspektrometer PrismaPlus in Kombination mit einem trocken verdichtenden HiPace-Turbopumpstand. Sie finden ihren Einsatz in der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen und sind in den Massenbereichen 1 bis 100 und 1 bis 200 amu erhältlich, der HPA 220 auch für 1 bis 300 amu.
Der SPM 220 besitzt eine speziell entwickelte Ionenquelle, die eine direkte Verbindung des Analysators mit der Prozesskammer ermöglicht. Dadurch lassen sich die Vakuumbedingungen von Sputterprozessen und ähnlichen Anwendungen bis zu einem Druck von 10-2 mbar momentgenau überwachen. Der HPA 220 ist je nach Anwendungsbedingung mit drei verschiedenen sowohl manuell als auch elektropneumatisch bedienbaren Gaseinlassventilen erhältlich. Sein modularer Aufbau macht ihn zu einer flexibel einsetzbaren Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis 50 mbar.
Halle 8.0, Stand E62
prozesstechnik-online.de/cav0612418
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