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Königsschichten auf Tantalbasis

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Tantalschichten werden als Reinmetall-, Oxid-, Carbid- und Nitridschichten aufgetragen. Dazu implantiert man das Tantal im Vorprozeß z.T. in die Oberfläche bis zu einigen 100 Atomlagen tief. Hierdurch werden hervorragende Haft- und Korrosionsmechanismen erzeugt. Dadurch lassen sich ein

• hoher Korrosionsschutz, auch in engen Bohrungen,
• gute biologische Verträglichkeiten,
• geringe Trockenreibwerte (µm #0,15) und
• hohe elektrische Durchschlagfestigkeiten erreichen.
Außerdem sind die Tantalschichten Iebensmittelunbedenklich, selbstheilend bei Verletzung, inert gegen Metallschmelzen und bis zu 40% dehnbar. Der Einsatz von Tantalbasisschichten erstreckt sich von Pumpenteilen in der Pharmaindustrie und Gasarmaturen für Elektronik bis hin zur Beschichtung von Metallfolien für die Membrantechnik.
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