Anlagen

Pumpe erzeugt Ultrahochvakuum

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Pfeiffer Vacuum hat mit der Turbopumpe Hipace 300 H die derzeit kompressionsstärkste Turbopumpe in der Saugvermögensklasse von 300 l/s auf den Markt gebracht. Mit einem Kompressionsverhältnis von 107 für Wasserstoff ist sie für die Erzeugung von Hoch- und Ultrahochvakuum geeignet. Durch das hohe Kompressionsverhältnis entsteht in der Kammer ein niedriges Restgasspektrum, wie es zum Beispiel für massenspektrometrische Applikationen wünschenswert ist.

Dank des ausgereiften Rotordesigns verfügt die Hipace 300 H über eine sehr hohe Vorvakuumverträglichkeit von 30 hPa. Damit erreicht die Pumpe auch bei Betrieb mit hohen Vorvakuumdrücken, wie sie in der Kombination mit Membranpumpen auftreten, Ultrahochvakuum. Durch die integrierte Funktion „Intervallbetrieb“ schaltet die Hipace 300 H eine angeschlossene Vorpumpe nur dann ein, wenn der Vorvakuumdruck nicht mehr ausreicht. So wird der Energieverbrauch des gesamten Vakuumsystems um bis zu 90 % gesenkt. Die Hipace 300 H besitzt eine sogenannte Hybridlagerung. Diese Kombination aus Keramik-Kugellager auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischem Radiallager auf der Hochvakuumseite stellt ein besonders robustes Lagerkonzept dar.
www.prozesstechnik-online.deSuchwort: cav0816pfeiffervacuum


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