Im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung bietet Bronkhorst nun auch sehr kompakte Regler für Massendurchfluss und Druck. Der IQ+Flow weist dank seines Chip-Sensors auf Basis der MEMS-Technologie eine Einbaulänge von weniger als 20 mm auf und ist damit nur halb so lang wie Massendurchflussregler konventioneller Bauart. Der Sensor mit integrierter digitaler Elektronik bietet hohe Genauigkeit bei kurzen Ansprechzeiten und stabilem Nullpunkt.
Je nach Anwendung können folgende Komponenten in einem Modul kombiniert werden: Massendurchflussmesser, Drucksensor, Regelventil, Auf/Zu-Ventil, Dreiwegeventil, Mischkammer. Die maßgeschneiderten Module werden fertig für den Einbau geliefert und weisen einen geringen Platzbedarf auf.
Equipment manufacturers are looking for compact solutions to monitor or control gas flow or pressure in their system. Conventional mass flow and pressure meters / controllers needed a footprint of 1.5“. Due to the use of micro solid state technology (MEMS), Bronkhorst High-Tech has been able to halve the footprint dimension to 0.75“, thereby realising ultra compact flow and pressure controllers. The combination of thermally balanced chip-sensor with integrated digital electronics features high accuracy, fast response and a very stable zero.
The IQ+Flow concept offers these functional modules: flow meter, pressure meter, control valve, shut-off valve, three-way valve, mixing chamber.
Hall 10.1, Booth B34
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