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Monolithischer Feuchte-/Temperatursensor

Messtechnik (Chemie)
Monolithischer Feuchte-/Temperatursensor

Monolithischer Feuchte-/Temperatursensor
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Das besondere am HMC01 ist, dass sich auf ein und demselben dünnen Glassubstrat sowohl der Temperatursensor als auch direkt darüber der Feuchtesensor befinden. Herkömmliche Kombisensoren bestehen aus zwei zusammengeklebten Substraten mit jeweils einem Sensor. Dadurch ergeben sich einige praktische und messtechnische Probleme, z. B. dass sich die beiden Substrate nach einiger Zeit voneinander lösen und dadurch die für die Messgenauigkeit wichtige thermische Kopplung der beiden Elemente verloren geht.

Der HMC01 ist für die stabile und genaue Feuchte- und Temperaturmessung in anspruchsvollen Industrieanwendungen konzipiert. Durch den monolithischen Aufbau erreicht man eine sehr gute thermische Kopplung zwischen Feuchte- und Temperaturelement, wodurch genaueste Messungen bei moderaten bis hin zu hohen Feuchten ermöglicht werden. Speziell für die Messung unter dauerhaft hoher Feuchte mit Betauungsgefahr kann der Sensor zur Vermeidung von Hochfeuchtedrift in einem geregelten Heizmodus betrieben werden. Hierbei wird der Temperatursensor als Heizelement verwendet und derart geregelt, dass die lokale relative Feuchte am Sensor konstant bei 76 % liegt.
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