Das Sensormodell AiM 100 von PMT detektiert luftgetragene molekulare Kontamination in ultrareinen Umgebungen. Seine kompakte Bauform erlaubt auch den Einsatz innerhalb von Mini-Environments. Die Oberflächenbeschaffenheit dieses Sensors ist so ausgelegt, dass kondensierbare, organische Stoffe (Stoffklasse C nach SEMI F21-95) erfasst werden. Die AiM-Technik zur Bestimmung von Niederschlag an Oberflächen basiert auf der Resonanzveränderung eines oszillierenden Quarzkristalls. Gemessen werden die akustischen Oberflächenwellen.
Die Empfindlichkeit beträgt 0,02 ng/cm². Die Messzeit ist zwischen einer und 60 Minuten einstellbar. Der AiM 100 zeichnet sich durch eine hohe Kompensation der relativen Luftfeuchte aus. Der Messaufbau ist mit seiner RS232-Schnittstelle vollständig in den digitalen Workflow konventioneller Partikel-Monitoring-Systeme integrierbar. Daten über die Massenabscheidung, Abscheiderate, Temperatur und relative Luftfeuchtigkeit werden zur Auswertung in Echtzeit zur Verfügung gestellt.
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