Durch Tangentialtechnik und Zwangsfunktion der Ventile werden bei der trockenlaufenden Membranpumpe in einstufiger Ausführung 20 mbar absolut und zweistufig weniger als 1 mbar absolut erreicht. Die Tangentialmembranpumpe 8111 ist kompakt aufgebaut und findet hauptsächlich Einsatz als Vorpumpe für Turbomolekularpumpen bei Heliumlecksuchgeräten, Massenspektrometern, in der Oberflächentechnik und in Elektronenmikroskopen.
E cav 243
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