Physikalische Analysenmethode zur Detektion bzw. Unterscheidung und Strukturaufklärung von Stoffen unter Zuhilfenahme von Informationen aus dem molekularen bzw. atomaren Stoffaufbau. Dabei werden die Moleküle / Atome des zu untersuchenden Stoffes gezielt mit Elektronen, Atomen, Ionen etc. beschossen und die Reaktionen – also dadurch vom Prüfling emittierte Elektronen (in Art und Energiezustand) – analysiert. Aufgrund dieser Informationen kann anhand bekannter spezifischer Bandenenergiespektren ermittelt werden, welche Elemente, welche Verbindungen (z. B. Oxide) und welche Bindungsarten (Einfachbindung, Mehrfachbindung) im untersuchten Stoff vorliegen und daraus letztlich eine quantitative und qualitative Stoffanalyse erstellt werden.
Massenspektroskopische Methoden werden z. B. bei mobilen Geräten zur Verwechslungsprüfung von austenitischen Edelstahllegierungen eingesetzt, wobei i. Allg. neben Cr und Ni vor allem die Mo-Gehalte ermittelt und verglichen werden können (z. B. Legierungen 1.4404 / 1.4435).
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