Abkürzungswort aus Semiconductor Manufacturing Specification.
Vom Chiphersteller-Konsortium Sematech veröffentlichte Norm, Methode, Regel, Empfehlung bzw. Beschreibung bezüglich der technischen Spezifikation von Werkstoffen und Halbzeugen.
© 2013 – ECV – Lexikon der Pharmatechnologie
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