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Vakuumprozesse steuern und überwachen

Messgeräte und Controller
Vakuumprozesse steuern und überwachen

Busch_Vakuummessgerät
Die drei Produktreihen der Vactest Vakuummesstechnologie:Digitaltransmitter, Analogtransmitter, Mobile Messgeräte Bild: Busch Vacuum Solutions

Vactest-Vakuummessgeräte und -Controller von Busch können durch den großen Messbereich von 1600 bis 5 x 10-10 mbar auf jeden Prozess abgestimmt werden. Die verschiedenen Sensortechnologien der Vactest-Serie decken den ganzen Bereich zwischen Grobvakuum und Ultrahochvakuum ab. Grundsätzlich können sie in zwei Hauptkategorien unterteilt werden, in direkte und indirekte Druckmessung. Das direkte Messprinzip ist unabhängig vom Prozessgas und basiert auf dem Druck, den der Molekülfluss auf eine Membran ausübt. Bei einem höheren Vakuumniveau werden indirekte Messprinzipien verwendet, die auf Wärmeleitfähigkeit oder Ionisationswahrscheinlichkeit basieren. Drei Produktlinien stehen zur Auswahl: Vactest-Digitaltransmitter mit intelligenter Mikrocontroller-Architektur, Vactest-Analogtransmitter und Vactest-Mobile-Messgeräte. Letztere bieten eine USB-Schnittstelle für Export und Anzeige von Daten sowie einen Datenlogger und können selbst im Vakuum verwendet werden. Der Vactest-Active-Sensor-Controller dient als kompakte Steuereinheit für den gleichzeitigen Betrieb von mehreren Vakuummessgeräten.

Busch Vacuum Solutions GmbH, Maulburg

Halle 8.0, Stand H38

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