Die Funktionsweise des Feuchtesensors von Michell basiert auf der Adsorption von Wasserdampf in eine poröse nicht leitende Sandwichschicht zwischen zwei leitenden Schichten, die auf einem hochstabilen Keramiksubstrat aufgebracht sind. Der feuchteempfindliche Messfilm ist sehr dünn – kleiner als 1 µM – und die poröse Abdeckschicht, die den Wasserdampf hindurchlässt, ist noch um den Faktor 100 dünner. Deshalb reagiert der Sensor sehr schnell auf Änderungen der beaufschlagten Feuchte in beide Richtungen, von feucht nach trocken (beim Prozessanlauf) und von trocken nach feucht (Feuchteeinbruch im Prozess).
Trotz dieser starken Ausprägung der Sensitivität auf Feuchteänderungen verhält sich der Keramik-Feuchtesensor aufgrund seines chemischen Aufbaus inert zu nahezu jedem ihn umgebenden Gas. Um den Sensor zusätzlich gegen Kontaminierungen zu schützen, wird er mit einem schützenden, rostfreien Edelstahlsinterfilter ausgeliefert.
Der keramische Feuchtesensor arbeitet nicht nur unter hohen Gasdrücken, sondern übersteht auch schnelle Druckänderungen ohne Beschädigung.
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