Mit der Ionenstrahlquelle von IPT lassen sich jetzt auch große Flächen durch Ionenbeschuss bearbeiten. Dabei können durch das patentierte Prinzip der Electron Cyclotron Wave Resonance (ECWR) Plasmen in fast allen beliebig groß geformten Plasmabehältern generiert und damit individuell auf die Bearbeitung von großen Oberflächen angepasst werden. Bei dem Einsatz von ECWR-lonenstrahlquellen wird gezielt Einfluss auf die Oberflächenbeschaffenheit dünner Schichten genommen. Hier sind besonders die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften wie Verschleiß und Korrosion zu nennen. Es können aber auch direkt die Materialeigenschaften beeinflusst werden, wie z. B. die Erhöhung der katalytischen Wirksamkeit eines Materials.
ECWR-Quellen arbeiten filamentlos, d. h. sie können mit Reaktivgas betrieben werden und eignen sich damit unter anderem zum Reaktivgasätzen. Darüber hinaus gewähren ECWR-Quellen wegen ihrer Wartungsfreiheit sehr lange Prozesszeiten und damit auch lange Produktionszeiten bis zum nächsten Wartungsintervall.
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