Die besonderen Vorteile dieser Dünnschicht-Drucksensoren aus Titanoxinitrid sind:
• die hohe Lastwechselfes-tigkeit im Bereich von größer 108
• der Druckbereich von bis zu 3000 bar
• die Temperaturbeständigkeit bis 300 °C ohne Koppelmedien
Ihre Anwendungsgebiete finden sich überall dort, wo hochpräzise Druckmessungen auch unter widrigen Umgebungsbedingungen, bei extremen Temperaturen, die wie etwa in Gas- oder Dieselmotoren in der Spitze sogar über 1000 °C liegen, und bei beengten Einbau- und Platzverhältnissen gefordert werden.
Die Messzelle ist dreischichtig aufgebaut, dabei aber hauchdünn. Auf das Trägermaterial ist eine zirka 400 nm starke Isolationsschicht aufgebracht, gefolgt von der eigentlichen aktiven Schicht, den Abschluss bildet ein Schutzüberzug. Diese Schutzschicht ist in ihren Eigenschaften den äußeren Bedingungen anpassbar.
Der Dehnmessstreifen kann auch ohne Klebung auf der Welle direkt im Lager angebracht werden. Drehmomente und Torsionskräfte lassen sich ohne Schlupf messen, und das ohne die Welle zu beeinträchtigen.
E cav 348
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