Mit den Spektrometern der Halo-Baureihe von Bernt Messtechnik stehen einfach zu handhabende Analysatoren zur Bestimmung der Spurenfeuchte in Rein- und Reinstgasen zur Verfügung.
Das Messprinzip beruht auf der Absorption von Licht durch die Wassermoleküle. Als Lichtquelle wird ein Diodenlaser eingesetzt. Im Gegensatz zu den bekannten TDLS-Spektrometern wird jedoch nicht der absorbierte Anteil des Lichtes direkt bestimmt, sondern die Zeitspanne, die nach dem Deaktivieren der Laserlichtquelle bis zum Abklingen des Laserlichtes in der Messzelle vergeht. Das patentierte Verfahren heißt Cavity Ring Down Spectroscopy (CRDS).
Durch die Verwendung von Spiegeln mit einer sehr hohen Reflektivität entsteht ein optischer Pfad von vielen Kilometern, womit Detektionsgrenzen im Sub-ppb-Bereich erzielt werden können. Mit dem Spektrometer ist die Analyse passiver, inerter, O2-haltiger, aber auch korrosiver Gase, Fluoride und Hydride möglich.
Halle 11.1, Stand F73
prozesstechnik-online.de/cav0512459
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