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Vakuum in der Prozesskammer messen

Messtechnik (Chemie)
Vakuum in der Prozesskammer messen

Vakuum in der Prozesskammer messen
Das digitale Thermovac-Vakuummeter TM101 von Oerlikon Leybold Vacuum misst den Vakuumdruck direkt in der Vakuumkammer. Die Messdaten werden auf dem Handmessgerät TM101 erfasst und können via Software ausgewertet werden. Das Handgerät erlaubt eine Messung des Vakuums von sieben Dekaden (1200 bis 5 10-4 mbar). Es bietet zudem die Möglichkeit eines einstellbaren Gaskorrekturfaktors, einer Minimum- und Maximum-Memory-Funktion und eine gasartunabhängige Druckerfassung oberhalb von 15 mbar. Die Datenloggerfunktion überträgt bis zu 2000 Messdaten vom internen Speicher via USB-Schnittstelle zum PC. Die speziell für das TM101 entwickelte VacuGraph-Software archiviert und visualisiert die Druckfunktion. Die Messwerte lassen sich anschließend als ASCII-Datei exportieren. Moderne Unternehmen nutzen den TM101 für die Überprüfung sowie Betriebs- und Qualitäts-Sicherung von Vakuumanlagen. Optimal eignet sich das robuste, handliche und feuchtigkeitsunempfindliche TM101 (IP40) auch für Serviceeinsätze.

Online-Info www.cav.de/0510411
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