Ausgehend von reinraumtechnischen Problemstellungen werden die Grundlagen und Anwendungen beschrieben und daraus Prinzipien für technische Lösungswege hergeleitet. Für alle wichtigen Aspekte der Kontaminationskontrolle werden Methoden zum Nachweis von Mikroverunreinigungen, technische Lösungskonzepte und deren Leistungsgrenzen dargestellt. Eine Besonderheit des Buches liegt in der systematischen Verknüpfung von Grundlagen, Problemstellungen, technischen Lösungswegen und deren praktischer Anwendung. Das Buch vermittelt dem Leser einen direkten Weg von der Problemstellung über die Auswahl der einzelnen Elemente bzw. Instrumente der Reinraumtechnik hin zur praktischen technischen Lösung.
Reinraumtechnik, L. Gail, Siemens Axiva, H.-P. Hortig, Hattersheim (Hrsg.), Springer-Verlag, 2002, 508 Seiten, 254 Abbildungen, 99,95 EUR
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