Die Wacker Chemie AG hat den Ausbau ihrer Produktion von hochreinem Chlorwasserstoff am Standort Burghausen abgeschlossen. Mit der Inbetriebnahme der neuen Anlage Mitte Juli 2023 wurde die Gesamtkapazität signifikant erhöht. Abnehmer der neu hinzugekommenen Mengen ist die Halbleiterindustrie, die hochreinen Chlorwasserstoff als Ätz- und Reinigungsmedium für die Halbleiterfertigung einsetzt.
Chlorwasserstoff (HCl) wird in der chemischen Industrie auf vielfältige Weise eingesetzt. Mit dem Reaktionsgas lassen sich aus energiearmen Rohstoffen reaktive Zwischenprodukte herstellen, die für die nachgelagerten Produktionsschritte benötigt werden. Wacker selbst nutzt Chlorwasserstoff beispielsweise für die Herstellung von Siliconen, von hochdisperser pyrogener Kieselsäure und von Polysilicium für die Solar- und Halbleiterindustrie. In der Halbleiterindustrie wird das farblose, wasserlösliche Gas zum Ätzen von Reinstsiliciumwafern und zum Reinigen von Anlagenteilen eingesetzt. Um Verunreinigungen zu vermeiden, müssen die verwendeten Medien hochrein sein.
In einer Ära, in der die Chemieindustrie mit den Herausforderungen des Klimawandels und der Notwendigkeit einer nachhaltigen Entwicklung konfrontiert ist...
HCl-Produktionsanlage gegen den Versorgungsengpass
Wacker hat nun am Standort Burghausen eine weitere Produktionslinie für hochreinen Chlorwasserstoff in Betrieb genommen. „Viele Wettbewerber sind in den letzten Jahren aus Kosten- und Qualitätsgründen aus der Produktion von Chlorwasserstoff ausgestiegen. Dies und die steigende Nachfrage nach Halbleiterbauteilen hat dazu geführt, dass hochreiner Chlorwasserstoff derzeit Mangelware ist“, sagt Wacker-Vorstandsmitglied Christian Kirsten. Wacker zählt zu den ganz wenigen Unternehmen in Europa, die HCl in der geforderten Qualität und in den benötigten Mengen liefern können.
Für die vor kurzem abgeschlossene Erweiterungsmaßnahme samt Infrastruktur wurden am Standort Burghausen Investitionen im niedrigen zweistelligen Millionen-Euro-Bereich getätigt. „Unser Geschäft mit Electronic Chemicals entwickelt sich sehr erfreulich und hat hervorragende Wachstumsperspektiven“, betont Kirsten. „Die Digitalisierung führt nicht nur zu einer wachsenden Nachfrage nach Computerchips, sondern auch nach Prozessmedien wie hochreinem Chlorwasserstoff. Mit der Erweiterung unserer Kapazitäten können wir diesen Bedarf auch in Zukunft bedienen.“
Steinsalz aus eigenen Bergwerk
Wacker nutzt zur Herstellung von Chlorwasserstoff Steinsalz aus seinem eigenen Bergwerk in Stetten. Zusammensetzung und Reinheit des dort geförderten Salzes eignen sich besonders gut für die Produktion. Bisher lag die Messlatte für halbleitertaugliches HCl bei 99,9979 %. Der in Burghausen produzierte Chlorwasserstoff hat einen Reinheitsgrad von 99,9995 % und ist damit deutlich reiner als die sonst erhältlichen Qualitäten. Damit lassen sich die Reinheitsanforderungen in der Chipindustrie auch künftig erfüllen.
